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现在国内根据低温等离子体工业废气处理技术研发出相应的标准化废气治理设备，归于根本是利用一些化学反应的化学键拆分，得到无害的气体分子，从而达到环保排放烟气的标准要求。具体是利用所产生的高能电子、自由基等活性粒子、电离、裂解工业废气中的各组成份，使之发生分解，氧化等一些列复杂的化学反应，再经过多级净化，从而各种污染源排放的异味、臭味污染物，使有毒有害气体达到低毒化、化，保护人类生存环境。
低温等离子体技术应用范围广，气体的流速和浓度对于气态污染物治理技术应用来说是两个非常重要的因素。生物过滤和燃烧技术能应用于较高浓度范围，但却受气体的流速所限。而低温等离子体技术对气体的流速和浓度都有一个很宽的应用范围，低温等离子设备其应用广泛不言而喻。等离子体技术工艺简单。吸附法要考虑吸附剂的定期更换，脱附时还有可能造成二次污染；http://www.wzyihong.com燃烧法需要很高的操作温度；生物法要严格控制pH值、温度和湿度等条件，以适合生物的生长。而低温等离子体技术则较好的克服了以上技术的不足，反应条件为常温常压，反应器结构简单，低温等离子设备并可同时混合污染物(有些情况还具有协同作用)，不会产生二次污染等。就经济可行性来说，低温等离子体反应装置本身系统构成就单一紧凑，在运行费用方面，观来讲，因放电过程只提高电子温度而离子温度基本保持不变，这样反应体系就得以保持低温，低温等离子设备所以不仅能量利用率高，而且使设备维护费用也很低。
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低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，由电子、离子、自由基和中性粒子组成。低温等离子体产品利用螺旋波低温冷光技术产生的高能离子束和电子束形成的低温等离子体，以每秒800万次-5000万次的速度反复轰击异味气体分子，去、电离、裂解废气中的各种成分，从而发生氧化等一系列的化学反应。等离子处理废气的原理如下：
1. 等离子通电后会形成一个1.5万伏的高压电场，废气在进入的时候被电离，分子键断裂，废气分子被分解成高能电子。
2. 氧气O2被电离成O- （游离态的氧原子），因游离氧所携正负电子不平衡，所以需要与氧分子结合，进而产生臭氧O3。
3. 废气电子在O3 的作用下，被氧化成CO2 和H2O
