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首先废气经均流板过滤棉进入设备时，由设备高压稳定高频放电，瞬间产生1.5万伏特至2万伏特高压，击穿废气。此阶段中，长链、多链废气分子由于键能较弱，约束力较小。很容易被击穿化学键破裂，从而变成小分子化合物，此为 阶段净化。
其次，随废气进入设备的水分子、氧分子被高压击穿断裂，生成强氧化基团羟基、臭氧分子等。这些强氧化基团与废气分子充分接触氧化，加快反应进程。整个反应干净彻底，能量利用率高，净化效率非常高。
等离子功能段可以激发污染物能量，促使长链、多链污染物分子的分子键断裂重组，使难处理的污染物降解为较易处理的低碳污染物。
其次，随废气进入设备的水分子、氧分子被高压击穿断裂，生成强氧化基团羟基、臭氧分子等。这些强氧化基团与废气分子充分接触氧化，加快反应进程。整个反应干净彻底，能量利用率高，净化效率非常高。
等离子功能段可以激发污染物能量，促使长链、多链污染物分子的分子键断裂重组，使难处理的污染物降解为较易处理的低碳污染物。
温等离子体技术在气态污染物治理方面优势显著。其基本原理是在电场的加速作用下，产生高能电子，当电子平均能量超过目标治理物分子化学键能时，分子键断裂，达到气态污染物的目的。
喷漆废气中的三苯浓度一般低于300mg/m3低浓度、大风量的有机废气治理，采用催化燃烧法(适用于浓度大于500mg/m3)处理不合适,所以只能用低温等离子废气处理设备来处理这种类型的工业废气。(适应于家具厂、鞋厂、五金厂、电子厂、工艺品厂、印染厂、塑料制品厂等等)同样，等离子技术处理涂装系统废气，油墨废气，高压静电式的印刷印染废气都有
等离子体反应区富含极高的物质，如高能电子、离子、自由基和激发态分子等，废气中的污染物质可与这些具有较高能量的物质发生反应，使污染物质在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到讲解污染物的目的。与传统的电晕放电形势产生的低温等离子技术相比较，等离子体技术放电密度是电晕放电的1500倍，这就是传统低温等离子体技术治理工业废气以失败而告终的原因。
